純チタン箔

純チタン箔は、純チタンを冷間圧延と中間焼鈍を繰り返して製造した極薄の金属板です。仕様: 厚さは通常 0.01 ～ 0.3 mm、幅は通常 600 mm 未満、長さは要件に応じてカスタマイズできます。厚さの公差は±0.005mm、幅の公差は±0.1mmです。

純チタン箔は比強度が高く、密度はわずか4.51g/cm3で鋼よりも約40%軽く、高い強度を持ちます。強い耐食性があり、空気または酸素を含む媒体中で表面に緻密な酸化膜を形成します。-、損傷しても自己修復できます。-生体適合性が良好で、人間の組織や血液に対して有害な反応を示しません。また、融点が 1668 度に達し、極度の高温や低温に対する耐性も備えており、極度に低温または高温の環境でも良好な延性と靭性を維持します。チタン箔の化学組成を表 1 に示します。異なるアニーリング温度でのチタン箔の機械的特性を表 2 に示します。

微細加工や微小電気機械システムなどの産業では、箔に対する製品精度の向上がますます求められるようになり、箔の準備プロセスに対する要求も高まっています。箔を作製する主な方法には、電解析出、マグネトロンスパッタリング、真空熱蒸着、および圧延が含まれます。中でも圧延法で製造された箔は品質が良く、生産性も高い。

圧延法で製造された箔は、優れた性能、高い表面輝度、高い生産性を有し、スケールと生産量の面で有利です。そのため、箔の製造には圧延が多用されており、圧延機の発展の歴史は非常に複雑です。 20 ロール ミルの父であるポランセン ジエミエは、わずか数ミクロンの厚さの箔さえ圧延できる最初の 20 ロール ミルを開発しました。-より薄く、より精密な製品を作るために、ロール径を小さくすることが試みられました。旧ソ連の鉄冶金研究所は 32- ロールミルと 36- ロールミルを開発し、非常に薄い 0.005 mm の 79HM ストリップを製造しました。その後、中国鉄鋼研究所、中国の上海非鉄金属研究所、および日本のすべてが、ロール直径Φ1.7〜3.5 mmのロールミルを26〜36台使用し、箔を1〜2μmに圧延しました。ノースイースト大学は、箔圧延に特化した圧延圧力、せん断力、引張応力を使用する独自の 3M ミル (マイクロ メタル フォーミング ミル) を独自に設計し、50 mm のワーク ロールを使用して銅、アルミニウム、鋼を 0.001 mm 未満まで圧延することができ、D/h 比 50,000 を達成し、圧延可能な最小厚さの制限を 20 ～ 50 倍破りました。その後改良を重ね、箔製造用の3M-Ⅱ型（ロール幅200mm）、3M-Ⅲ型（ロール幅500mm）が誕生し、高品質な箔を製造する上で極めて重要な役割を果たしています。

近年、箔材料の市場需要は増加し続けています。たとえば、厚さ0.009-0.020mmの銅箔は電気自動車のバッテリーやプリント基板に使用されています。小型ロボットは生物医学用途に使用されます。さらに、主に航空宇宙機器の計器やメーター用の鋼箔、ジェット エンジンの装飾メッシュ用のチタン箔、発熱体用のタングステン-モリブデン箔、精密機器用のステンレス鋼箔など、さまざまな箔がさまざまな市場で使用されています。これらの高度な微細製造業界が必要とする微細材料には、より小さなサイズ要件とより高い精度基準が求められます。{8}}中国における極薄圧延鋼帯の開発ペースはさらに加速すると予想される。

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